Resumo

HERNANDEZ-VALLE, Alberto et al. Simulación del haz de electrones en un TEM como flujo de partículas cargadas. Tecnología en Marcha [online]. 2015, vol.28, n.1, pp.59-70. ISSN 0379-3982.

Se simuló el comportamiento de un haz de electrones en un Microscopio Electrónico de Transmisión (TEM) en función del voltaje de aceleración, la corriente de excitación de las lentes y la permeabilidad relativa de las piezas polares, por medio del softwareCOMSOL Multiphysics versión 4.2a. Los resultados mostraron una baja velocidad vertical en los electrones dispersos, los cuales fueron filtrados por los diafragmas. Además, los gráficos expusieron que la densidad del flujo magnético aumentó con el incremento en la permeabilidad magnética de las piezas polares. Además, un aumento en la densidad del flujo magnético incrementó el ángulo de los electrones divergentes y redujo su velocidad vertical. Finalmente, las observaciones demostraron que el número de electrones que entran en el sistema no afecta el comportamiento general del haz ni la magnitud de la densidad del flujo magnético.

Palavras-chave : Lente condensador; lente objetivo; simulación; haz de electrones; piezas polares.

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